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高精度激光測振儀

簡要描述(shu):高精度(du)激(ji)光測振儀可以通(tong)(tong)過顯微(wei)光學(xue)系統實現對(dui)微(wei)小(xiao)物體(ti)的(de)振動(dong)測量,可以精確測量MEMS等微(wei)小(xiao)結構元器件的(de)振動(dong)和形貌,激(ji)光光斑達微(wei)米量級,并可通(tong)(tong)過顯微(wei)成像系統實時(shi)觀察物體(ti)的(de)振動(dong)狀態(頻率(lv)、速度(du)、加速度(du)、位移)等多維信息。

產品型號: LV-S01-M

所屬分(fen)類:掃描式激光測振儀

更新時(shi)間(jian):2023-10-07

詳細說明:

高精度激光測振儀工作原理 :
激光測振儀的核心是一臺高精密激光干涉儀和一臺信號處理器。高精密激光干涉儀內的He-Ne激光器發出的偏振光(設頻率為F0)由分光鏡分成兩路,一路作為測量,一路用于參考。測量光通過聲光調制器具有一定頻移(F),再被聚焦到被測物體表面,物體振動引起頻移(f =2v/λ)。系統收集反射光并與參考光匯聚在傳感器上,這樣兩束光在傳感器表面產生干涉,干涉信號的頻率為F+f,攜帶了被測物體的振動信息,信號處理器將頻移信號轉換為速度和位移信號。
 
采用的是非接觸式的測量方法,具有出色的頻率和相位響應,可準確地對各種物體的振動、位移、速度及加速度等進行測量,在滿足高精度、高速測量需求的同時,還可以彌補接觸式測量無法測量的缺陷。它主要由干涉儀及振動控制器兩部分組成,并被廣泛應用于各高校/研究所以及各大工廠。
 
技術指標:

激光測振儀采用非接觸式動態干涉測量技術,在以下各方面有廣泛的應用:
1、微機電系統(MEMS)動態測試;
2、汽車工業:發動機、齒輪、制動器、輪胎、排氣系統、車身等;
3、馬達回轉動態精度測試;
4、機床動態精度測試;
5、生命科學、醫學、動物學研究;
6、橋梁、建筑振動測試。
 

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