非接(jie)觸式高精度激(ji)光測(ce)振儀(yi)可(ke)以通(tong)過顯(xian)微(wei)(wei)光學系統(tong)實現對(dui)微(wei)(wei)小物體的(de)振動(dong)測(ce)量，可(ke)以精確測(ce)量MEMS等微(wei)(wei)小結構元器件的(de)振動(dong)和形(xing)貌，激(ji)光光斑達微(wei)(wei)米量級，并可(ke)通(tong)過顯(xian)微(wei)(wei)成像系統(tong)實時觀察物體的(de)振動(dong)狀(zhuang)態(tai)（頻率、速(su)度、加速(su)度、位移）等多(duo)維信息(xi)。
高精度(du)激光測振(zhen)儀可以通(tong)過顯微(wei)光學系(xi)統(tong)實現對(dui)微(wei)小物體的振(zhen)動測量(liang)，可以精確測量(liang)MEMS等微(wei)小結構元器(qi)件的振(zhen)動和形貌，激光光斑(ban)達微(wei)米量(liang)級，并可通(tong)過顯微(wei)成(cheng)像系(xi)統(tong)實時觀察物體的振(zhen)動狀(zhuang)態(tai)（頻率(lv)、速度(du)、加速度(du)、位(wei)移）等多(duo)維信(xin)息。
